Entegris

フィルター選定依頼

CMPフィルター相談コーナー

マイクロリスはCMPスラリーのろ過において、各用途における最適なフィルターを提供するとともに、
最先端のデバイスメーカー、装置メーカー、スラリーメーカーとの共同実験と独自の研究・開発によって得られた、
CMPスラリーのろ過に関する豊富な経験・知識と技術を提供しております。
フィルターの選定、フィルター寿命、CMP欠陥などでお困りのことがあれば、是非ともマイクロリスにご相談下さい。

●以下のフォームに必要事項をご記入の上、送信ボタンを押して下さい。Eメール等によりご回答申し上げます。

1.ご相談内容（選択）：

2.CMP対象アプリケーション：

3.CMPスラリーの種類：

4.フィルターの設置箇所：

5.流量： L/min

6.供給圧： MPa

7.現在の問題点とご要求内容について具体的にご記入下さい。：

ふりがな：	（全角　例：たなか　たろう）
ご氏名：	*（全角　例：田中　太郎）
所属団体名：	*（全角　例：日本インテグリス株式会社）
所属部署名：	*（全角　例：商品技術開発本部）
役職：	（全角　例：主任）
E-メールアドレス：	*（半角　例：taro_tanaka@entegris.com）
〒：	*（半角　例：108-0073）
勤務先所在地：	* （全角　例：東京都港区三田１－４－２８三田国際ビル）
電話番号：	*（半角　例：03-5442-9718）
ファックス番号：	（半角　例：03-5442-9738）

*は、必須入力項目です。