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ウルトラパック

ウェーハ出荷容器（ポリプロピレン製、8"-4"）

 

 
  • 高純度ポリプロピレン製のクリーンな容器
     
  • 自動化対応カセット
     
  • トップカバーに一体成型された櫛型スプリングが、ウェーハを保持
     
  • 構成パーツを最小にすることにより、洗浄性をアップ
     
  • 200mm（8"）から100mm（4"）までご用意

 

主な仕様

ウェーハ径 200mm (8") 150mm (6") 125mm (5") 100mm (4")
収容枚数 25枚
材　質 ボックス：高純度ポリプロピレン
カセット：高純度ポリプロピレン
D1寸法 25.4 mm 14.5 mm
ポケットピッチ 6.4 mm 4.8 mm
型　番 H9200-0022 H9150-0037 H9125-0028 H9100-0041