CMPパッドコンディショナー（ドレッサー）は、ウェーハ研磨によって形成されたCMPパッド表面の凸凹を修復するために用いられます。
ダイヤモンド砥粒は耐食性が高く、酸化膜CMPからタングステンCMPまで、全てのスラリーに使用できます。一方で基板への固定が困難で、砥粒の破損・脱落によるスクラッチ欠陥、砥粒の突出割合の制限による短寿命などの課題がありました。
インテグリスのプレナゲム（Planargem）は、セラミック基板上のダイアモンド砥粒を、CVDを用いてダイアモンドで成膜することにより、分子レベルでの強固な結合を実現したCMPパッドコンディショナーです。この結果、ダイアモンド砥粒の全てを基板上に露出させ、しかも砥粒の脱落の心配が本質的にありません。また、表面が全てダイアモンドですので、ボンディング部の腐食も全くなく、細かな砥粒による高精度の研磨が実現できます。
ダイアモンド砥粒をCVD結合させたドレッサー