CMP用リーテーナーリングは、CMPヘッドに装着され、研磨するウェーハを保持します。ウェーハに物理的ダメージを与えないように、ウェーハよりも柔らかいポリマー素材が用いられ、消耗品として定期的に交換されますます。
インテグリスのPEEK製リテーナーリングは、その優れた加工精度、耐摩耗性、低抽出性により、馴らし時間の短縮、プロセス安定性の向上、交換頻度の低減、プロセス清浄性の維持が実現できます。
PEEK製のCMP用リテーナーリング