インテグリスは、半導体などのハイテク分野で使用される高純度薬品、スラリー、純水などの流体を移送、制御する製品を多岐に渡って提供します。 インテグリスのフルイドハンドリング製品には、バルブ、継手、薬品コンテナー、フローコントローラ、ベローズポンプなどがあり、バルク薬品の製造工程からデバイス製造装置の使用点(POU)に至るまで、マテリアル品質保持管理に係わるソリューションを、一貫して提供します。
インテグリスのフルイドハンドリング製品
これ以外のフルイドハンドリング製品をお探しの場合は、専用サイト(www.entegrisfluidhandling.jp)をご覧ください。
ダイアフラムバルブ
マニホールドバルブ
ニードルバルブ
ストップコックバルブ
チェックバルブ
フレアテック
フレアロックⅡ
ピュアボンド
クイックグリップ
ガルテック
EJシリーズ
NSシリーズ
フロロピュア シリーズ
低粘度用(フォトレジストなど)
高粘度用(ポリイミドなど)