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ウェーハ/レチクル容器

インテグリスは、ウェーハおよびレチクルの保護、搬送において革新的で信頼性の高いソリューションを提供し、生産性と歩留まりの向上に貢献します。

 

インテグリスのウェーハ/レチクルハンドリング製品

これ以外のウェーハ/レチクルハンドリング製品をお探しの場合は、専用サイト(www.wafercare.com)をご覧ください。

300mmウェーハ容器
SB300

工程内搬送容器(FOUP)

出荷容器(FOSB)

200mmウェーハ容器
Ultrapack

工程内搬送容器(SMIFポッド、キャリア)、出荷容器

150mm以下のウェーハ容器

工程内搬送容器(キャリア)

出荷容器

角型ウェーハ容器

太陽電池セルの搬送容器

レチクル/マスク容器
   

レチクルSMIFポッド

マスク容器