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エアロネクス ガス精製システム

Aeronex(エアロネクス)自動再生型ガス精製システムは、連続運転のために2台の精製ユニットを組み込んでいます。 1台の精製ユニットでプロセスガスを精製しながら、もう1台の精製ユニットを再生または待機状態にします。 精製ユニットの再生および切り替えはプログラム制御です。
精製ユニットの交換や再生のための作業が不要で、長期の連続運転が可能です。
Aeronex自動再生型ガス精製システムは、その再生可能な精製ユニットと常温(非加熱)精製方式により、産業廃棄物の削減、ランニングコストの低減、安全性と信頼性の向上など、COO(コスト・オブ・オーナシップ)の低減に寄与します。

エアロネクス ガス精製システム EGPS-Zシリーズ
CDA用自動精製システム、120/500/1000SLM
  • 露光装置のレンズ曇り防止、ミニエンのクリーン環境維持に有効なシステム。
  • CDA中のハイドロカーボン等の不純物を1ppb以下に制御。
  • 2本の精製ユニットを搭載しており、再生・供給サイクルを自動制御。
  • 精製ユニットを交換することなく、長期の連続運転を実現。
  • 最高使用流量は120SLM、500SLM、1000SLMの3種類をご用意。
エアロネクス ガス精製システム AGPS-Z2シリーズ
CDA用自動精製システム、5000SLM
  • 露光装置やFOUP/レチクルストッカーのCDAパージ用に設計されたシステム。
  • CDA中の水分を1ppb、揮発性塩基を10ppt、その他の汚染物質を1ppt未満に制御。
  • 複数の精製ユニットを搭載しており、再生・供給サイクルを自動制御。
  • 精製ユニットを交換することなく、長期の連続運転を実現。
  • 最高使用流量は5000SLM。
エアロネクス ガス精製システム EGPS-SKシリーズ
NH3用自動精製システム、120/300SLM
  • 化合物半導体のデバイス特性改善に有効なシステム。
  • NH3中の水分、酸素等の不純物を1ppb以下に制御。
  • 2本の精製ユニットを搭載しており、再生・供給サイクルを自動制御。
  • 精製ユニットを交換することなく、長期の連続運転を実現。
  • 最高使用流量は120SLMと300SLMの2種類をご用意。
エアロネクス ガス精製システム EGPS-Hシリーズ
水素用自動精製システム、120/300/1000SLM
  • エピタキシャルやMOCVDの膜特性向上に有効なシステム。
  • 水素ガス中の水分、酸素、CO等の不純物を1ppb以下に制御。
  • 2本の精製ユニットを搭載しており、再生・供給サイクルを自動制御。
  • 精製ユニットを交換することなく、長期の連続運転を実現。
  • 最高使用流量は120SLM、300SLM、1000SLMの3種類をご用意。