Aeronex（エアロネクス）自動再生型ガス精製システムは、連続運転のために2台の精製ユニットを組み込んでいます。 1台の精製ユニットでプロセスガスを精製しながら、もう１台の精製ユニットを再生または待機状態にします。 精製ユニットの再生および切り替えはプログラム制御です。
精製ユニットの交換や再生のための作業が不要で、長期の連続運転が可能です。
Aeronex自動再生型ガス精製システムは、その再生可能な精製ユニットと常温（非加熱）精製方式により、産業廃棄物の削減、ランニングコストの低減、安全性と信頼性の向上など、COO（コスト・オブ・オーナシップ）の低減に寄与します。
EGPSのZシリーズはCDA（クリーン・ドライ・エア）中のハイドロカーボン等の不純物を極めて高い効率で除去します。 高清浄度のCDAを供給することにより、露光装置等のレンズの曇り防止、ミニエンバイロメントのクリーン化に寄与します。
EGPSのSKシリーズはアンモニアガス中の水分、酸素等の不純物を極めて高い効率で除去します。高清浄度のアンモニアガスを供給することにより、化合物半導体製造プロセスにおけるデバイス特性の向上に寄与します。
EGPSのHシリーズは水素ガス中の水分、酸素、CO、NMHC等の不純物を極めて高い効率で除去します。高清浄度の水素ガスを供給することにより、エピタキシャル膜やMOCVD膜の性能改善に寄与します。 |