日本インテグリス - 製品情報 - ケミカルフィルター製品

ケミカルフィルター製品

資料番号 (PDF)	製品名（製品概要）	コメント
MDS0521	Extraction VaporSorbII ケミカルフィルター	分子状塩基性不純物の除去コータ/デベロッパ用
MDS0524	Extraction VaporSorbII VP ケミカルフィルター	分子状塩基性不純物の除去コータ/デベロッパ用
MDS0523	Extraction VaporSorb CSP-32 ケミカルフィルター	分子状塩基性・酸性不純物、揮発性有機化合物の除去露光装置用
MDS0522	分子状汚染物質の分析サービス	クリーンルーム内の大気をサンプリングし、分子状汚染物質の定量分析を行うサービス

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