フロロガードAT/ATXカートリッジフィルター
高純度薬品(酸・アルカリ・有機溶剤)用オールフロロカーボン製フィルター

優れた耐薬品・耐熱性
構成部材に、耐薬品性・耐熱性に優れたPTFE とPFA を使用しています。
低抽出
構成部材の材質は低抽出で、O-リングを使用していません。しかも特殊洗浄していますので清浄度にも優れています。
疎水性
使用しているメンブレンは疎水性です。水溶液系薬品をご使用になる場合は、親水化処理が必要となります。

 





フロロガードAT/ATXカートリッジフィルター カタログ(PDF)



ウェーハ洗浄・剥離用フィルター製品カタログ








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