フロロガードAT/ATXディスポーザブルフィルター
高純度薬品(酸・アルカリ・有機溶剤)用精密フィルターユニット

優れた耐薬品・耐熱性
構成部材に、耐薬品性・耐熱性に優れたPTFE とPFA を使用しています。
高流量
低圧損で高流量ですから、洗浄槽の循環効率の向上が期待できます。
低抽出
構成部材の材質は低抽出で、O-リングを使用していません。しかも特殊洗浄していますので清浄度にも優れています。
多彩なラインアップ
ハウジングの形状、接続、孔径も豊富に取りそろえています。
疎水性
使用しているメンブレンは疎水性です。水溶液系薬品をご使用になる場合は、親水化処理が必要となります。

≪アプリケーション≫
● 酸、アルカリ、溶剤の循環ライン

 





フロロガードAT/ATXディスポーザブルフィルター カタログ(PDF)



ウェーハ洗浄・剥離用フィルター製品カタログ








   ホーム    |    規定/商標    |    サイトマップ    |    Visit www.entegris.com
 © 1994-2006 Entegris, Inc. All rights reserved.