フロロガードTPX/TPX-HP カートリッジフィルター
純水・酸・アルカリ・有機溶剤などの高流量ろ過

フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の大型化に伴い、洗浄用純水や薬品のろ過用フィルターにも高流量化の要望が高くなっています。
フロロガードTPX/TPX-HP は、耐薬品性に優れたPTFE メンブレンを使用した高流量対応のカートリッジフィルターです。
純水および水溶液系薬品には、親水化処理不要の親水性タイプもございます。

 





フロロガードTPX/TPX-HPカートリッジフィルター 製品カタログ(PDF)



ファインプロセス用フィルター製品カタログ








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