ガーディアンAT/ATXカートリッジフィルター
高純度薬品(酸・アルカリ・有機溶剤)供給ライン用超精密フィルター

高除粒子性能
高除去率PTFEメンブレンにより優れた除粒子性能を発揮します。
優れた耐薬品性
構成部材に、耐薬品性に優れたPTFEとPFAを使用しています。
優れた耐熱性
構成部材は、耐熱性にも優れています。
低抽出
構成部材の材質は低抽出で、しかも特殊洗浄していますので清浄度にも優れます。
疎水性
使用しているメンブレンは疎水性です。水溶液系薬品をご使用になる場合は、親水化処理が必要となります。

≪アプリケーション≫
● 酸、アルカリ、溶剤の供給ライン

● その他、ワンパスで高除粒子性能が必要とされるライン

 





ガーディアンAT/ATXカートリッジフィルター カタログ(PDF)



ウェーハ洗浄・剥離用フィルター製品カタログ








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