| GateKeeper（ゲートキーパー）ガスピューリファイヤーは、再生が可能なインライン型のガスピューリファイヤーです。 最大流量は60SLMまでのPOU用と300SLM以上のバルク用の各種ラインナップがあり、粒子除去フィルターエレメントを内臓しています。
ガス供給源または装置内部でガス中の不純物を除去することにより、MFCやバルブなどの保護、プロセス汚染の防止に寄与します。Aeronexガスピューリファイヤーは、その再生可能な精製剤と常温（非加熱）精製方式により、産業廃棄物の削減、ランニングコストの低減、安全性と信頼性の向上など、COO（コスト・オブ・オーナシップ）の低減に寄与します。http://www.entegris.com/Resources/images/11777.jpg |