資料番号
(PDF) | 製品名（製品概要） | コメント | 製品型番 |
| EDS0718 |
トレントATE
ディスポーザブルフィルター | 新製品
45nm以降の量産プロセスに対応する新開発の高流量・高除去率フィルター
No Prewet/Non-dewetting PTFE膜 | TRMX ATE *S
TRDX ATE *H
TRVX ATE ** |
| EDS0719 |
トレントATE
カートリッジフィルター | 新製品
45nm以降の量産プロセスに対応する新開発の高流量・高除去率フィルター
No Prewet/Non-dewetting PTFE膜 | TRCX ATE *1 |
| EC0410 |
クイックチェンジATM
ディスポーザブルフィルター | RCA洗浄のろ過、半導体グレード高純度薬品(酸・アルカリ)供給・循環ライン用
No Prewet/Non-dewetting PTFE膜 | QCD* ATM **
QCV* ATM ** |
| EC0601 |
クイックチェンジATM
カートリッジフィルター | RCA洗浄のろ過、半導体グレード高純度薬品(酸・アルカリ)供給・循環ライン用
No Prewet/Non-dewetting PTFE膜 | QCC* ATM 01 |
| MC0203 |
クイックチェンジAT/ATX
ディスポーザブルフィルター | RCA洗浄のろ過、半導体グレード高純度薬品(酸・アルカリ)供給・循環ライン用
No Prewet/Non-dewetting PTFE膜 | QCD* AT1 **
QCD* ATX ** |
| EC0204 |
クイックチェンジAT/ATX
カートリッジフィルター | RCA洗浄のろ過、半導体グレード高純度薬品(酸・アルカリ)供給・循環ライン用
No Prewet/Non-dewetting PTFE膜 | QCC* AT1 *1
QCC* *TX *1 |
| MDS0528 |
クイックチェンジPlus1500/3000
ディスポーザブルフィルター | スプレー洗浄、ワンバス洗浄など、半導体グレード高純度薬品(酸・アルカリ)のPOUろ過
No Prewet/Non-dewetting PTFE膜 | QCP* 30* **
QCP* 15* ** |
| MC9903 | サーモガードNE
ディスポーザブルフィルター | 窒化膜エッチング（熱燐酸）の循環ろ過
No Prewet/Non-dewetting PTFE膜 | TGDG ATX ** |
| EDS0729 | インターセプトPlus HPM
ディスポーザブルフィルター | DHF/BOEアプリケーションで複合の粒子捕捉メカニズムが働く、親水性UPEフィルター（高流量タイプ） | IHP* HPM *S |
| MDS0602 | インターセプトPlus HPM
カートリッジフィルター | DHF/BOEアプリケーションで複合の粒子捕捉メカニズムが働く、親水性UPEフィルター（高流量タイプ） | IHA* 01M 01 |
| MC0312 | インターセプトHP/HPX
カートリッジフィルター | DHF/BOEアプリケーションで複合の粒子捕捉メカニズムが働く、親水性UPEフィルター | IHA* 01P LT
IHA* 01P 01 |
| EDS0717 | ガーディアンHPX
ディスポーザブルフィルター | DHF/BOEの供給ろ過 | GDP* HPX TH |
| EC0008 | エッチガードHP/HPX
カートリッジフィルター | DHF/BOEの循環ろ過 | CPU* 0*P ** |
| EC0103 | ガーディアンAT/ATX
カートリッジフィルター | 高純度薬品(酸・アルカリ・有機溶剤)供給ライン用 | GDC* 01T **
GDC*0*P*1 |
| MC0206 | フロロガードAT/ATX
ディスポーザブルフィルター | 高純度薬品(酸・アルカリ・有機溶剤)供給・循環ライン用 | CTF* 0*P *F
CTD* AT* ** |
| EC0205 | フロロガードAT/ATX
カートリッジフィルター | 高純度薬品(酸・アルカリ・有機溶剤)供給・循環ライン用 | CTF* 0*T PE
CTF* 0*P 01 |
| MC0311 | フロロガードRSフィルター | フォトレジストの有機剥離用 | CT** 01P 01
CD** 01P T* |
| EC9801 | フロロラインP-1000/1500/3000
ディスポーザブルフィルター | 高純度薬品(酸・アルカリ・有機溶剤)最終使用点ろ過 | PFF* 01P *P
PFF* 15P 8P
PFF* 30P 8P |
| MC9305 | ポンプガード タイプU | Wet洗浄装置のポンプ保護用 | WDPM 0CP *F |