日本インテグリス - 製品情報 - フォトケミカル用フィルター製品

フォトケミカル用フィルター製品カタログ

資料番号 (PDF)	製品名（製品概要）	コメント	製品型番
MC0414	マイクロリスPCMシリーズ	ArFレジスト中の極微小ゲル状異物の除去、TARCにおけるマイクロバブル欠陥の低減
MDS0605	インパクト2 V2 フィルター	フォトレジストのPOUろ過（マニホールドタイプ）	A2A* 200 K1 A2A* 200 01
EDS0730	インパクト2 マニホールド	インパクト2フィルターに対応したマニホールド	A2MP 222 0* A2MX 222 0*
MDS0606	インパクトPlus V2 フィルター	フォトレジストのPOUろ過（マニホールドタイプ）	APA* 200 01 APA* 200 K1
MC0411	オプチマイザーD ディスポーザブルフィルター	フォトレジストの少・中流量ろ過	CWA* 0S1 S3
MC0412	オプチマイザーDPR/DPR-L ディスポーザブルフィルター	フォトレジストの少・中流量ろ過	CWA* 0S0 1 CWA *L0 S1
MC9804	オプチマイザー16/40 カートリッジフィルター	フォトレジストの少・中流量ろ過	CWA* 16K L1 CWA* 40* L1
H5D029N	オプチマイザーST DEV/DEV-L ディスポーザブルフィルター	現像液のPOUろ過（マニホールドタイプ）	AHU* 0S* M1 AHU* 0L* M1
MC9802	オプチマイザーDEV/DEV-L ディスポーザブルフィルター	現像液の少・中流量ろ過	CHU* S0 1 CHU* L0 1
MC9819	オプチマイザーDEV-16/40 カートリッジフィルター	現像液の少・中流量ろ過	CHU* 16* L1 CHU* 40* L1
H5D025N	オプチマイザーST DI/DI-L ディスポーザブルフィルター	超純水中の粒子除去および極微量金属イオンを低減するPOU用フィルター（マニホールドタイプ）	ABU* 0S* M1 ABU* 0L* M1
MC9715	オプチマイザーDI/DI-L ディスポーザブルフィルター	超純水中の粒子除去および極微量金属イオンを低減するフィルター、少・中流量タイプ	CBU* S0 1 CBU* L0 1
MC9820	オプチマイザーDI-16/40 カートリッジフィルター	超純水中の粒子除去および極微量金属イオンを低減するフィルター、少・中流量タイプ	CBU* 16* L1 CBU* 40* L1
EC0408	オプチマイザーST2 マニホールド	オプチマイザーST DEV/DIフィルターなどに対応したマニホールド	AMVT *
MC0005	ガーディアンDEV カートリッジフィルター	現像液の高流量ろ過	CHU* 0P L CHU* 7P L
EC9807	マイクロガードPlus カートリッジフィルター	フォトレジスト、溶剤などの高流量ろ過	CWA* 0P L CWA* 51P L*
EC9405	マイクロガードカートリッジフィルター	ポリイミド、フォトレジスト、溶剤などのろ過	CWU* 0P L CWU* 51P L* CWU* 0*P 01
020904N	インパクトSR フィルター	SOD、BARC、ネガレジスト等のPOUろ過（マニホールドタイプ）	ATF* 000 01
MC8905	フロロライン-S ディスポーザブルフィルター	SOG、HMDS等のろ過、フォトレジストの最末端ろ過	PFF* 01D *S
MC9801	フロロラインP-1000/1500/3000 ディスポーザブルフィルター	酸、アルカリ、有機溶剤の少流量ろ過	PFF* 01P P PFF 15P 8P PFF* 30P 8P
MC9701	ウェハーガード F-4/16/40 カートリッジフィルター	酸、アルカリ、有機溶剤の少・中流量ろ過	WGF* 04H P6 WGF* 16H P2 WGF* 40H 01

フォトケミカル用フィルター製品についてのお問合せ（Eメール）
PDF形式のファイルをご覧頂くためには、「Get Adobe Reader」のボタンで「Adobe Reader」をダウンロードして下さい。

ホーム | 規定/商標 | サイトマップ | Visit www.entegris.com