資料番号
(PDF) | 製品名（製品概要） | コメント | 製品型番 |
| MC0001 | ソラリス
ディスポーザブルフィルター | CMP/CMPスラリーのPOUろ過 | SLR0 **3 E1
SLR0 **C E1 |
| EDS0711 | ソラリスSCR
ディスポーザブルフィルター | 新製品（新デザイン）
CMP/CMPスラリーのPOUろ過 | SCR0 **3 E1
SCR0 **C E1 |
| EDS0708 | ソラリスCL
ディスポーザブルフィルター | 新製品（新メディア）
CMP/CMPスラリーのPOTろ過 | SDR* *5C E1 |
| MC9809 | プレナガード フィルター | CMP/CMPスラリーの供給・循環ろ過 | CM** 0*E 06
CMP* U15 06
CMP* I11 06 |
| MDS0442 | プレナガード
カートリッジフィルター
（ケムロックタイプ） | CMP/CMPスラリーの供給・循環ろ過 | CM** 0*E 06Y |
| MDS0327 | プレナガードCS
カートリッジフィルター | CMP/CMPスラリーの供給・循環ろ過 | PCS* *01 E6
PCS* *02 E6
PCS* *03 E6 |