資料番号
(PDF) | 製品名（製品概要） | 推奨アプリケーション
適合フィルターのシール規格、サイズ | 製品型番 |
| EC0402 | ケムロック PFAハウジング | 高純度の酸、アルカリ薬液
AS568A-222、11"タイプ | YY56 112 **J |
| EC0415 | ケムロック PPハウジング | 純水・超純水・薬品
AS568A-222、11"タイプ | YY66 10* **J
YY66 14U 2*J |
| MDS0343 | ケムガード PPハウジング
(高流量タイプ) | 純水・超純水・薬品
AS568A-222、10"タイプ | YY36 10* 5UM
YY36 10* 6UM |
| MDS0301 | ケムガード PVDFハウジング | 高純度薬品、純水
AS568A-222、10"タイプ | YY41 1*1 0*J |
| MC9803 | PFA16 ハウジング | フォトレジスト、現像液、溶剤
AS568A-015、16段タイプ | YY50 P16 0* |
| MC9415 | HPハウジング | ガス、純水、有機溶剤
AS568A-222、10"タイプ | YYHP *1* **
YY50 *1* ** |
| MC9414 | PLJ/PSJハウジング | 高純度薬品、有機溶剤、ガス
AS568A-222、4/10/20/30"タイプ
フラットシール、10/20"タイプ | YY16 0** *P
YY16 F* 04P |