日本インテグリス - 製品情報 - ガスフィルター製品

ガスフィルター製品

資料番号 (PDF)	製品名（製品概要）	コメント	製品型番
I2D024	チャンバーガードFV-50D ディフューザー	ニッケルメンブレンフィルターを備えたディフューザー	WG3D 205 R2 WG3D 50D R2
I2D025	チャンバーガードFV-100D ディフューザー	ニッケルメンブレンフィルターを備えたディフューザー	WG3D 401 R2
I2D028	ウェハーガード 1.5W-Seal集積フィルター	フィルター材質はニッケルまたはSUS316L、サイズはミニXL、ミニ、ハーフの３種	WG3S SW W WG2S 0W 2
EC0305	ウェハーガードⅢNF インラインガスフィルター	超高除粒子性能ニッケルメンブレン製ミニXL（120 L/min）、ミニ（60 L/min）、ハーフ（30 L/min）	WG3N S0R R2 WG3N S1R R2 WG3N S2R R*
MC0301	ウェハーガードⅡSF インラインガスフィルター	オールSUS316L製ミニXL（60 L/min）、ミニ（30 L/min）、ハーフ（15 L/min）	WGMS H1H RU WGMS A1H RU WGMS *2PR U
EC9509	ウェハーガードⅡFマイクロインラインガスフィルター	30 L/min対応、PTFEメンブレン	WG2F T1* *2
EC9517	ウェハーガードミニXL インラインガスフィルター	100 L/min対応、PTFEメンブレン	WGFG 2P *
EC0101	ウェハーガード MAX インラインガスフィルター	150-1000 L/min対応、PTFEメンブレン	WGMX MSR R* WGMX MB* **
MC9004	ウェハーガードⅡF-40 インラインガスフィルター	1500 L/min対応、PTFEメンブレン	WG2F 40* **
MC9208	ラインガードマイクロ	レギュレーター・バルブ保護、高圧ライン用オールSUS316L製	YYM2 00M **
EC9507	ウェハーガードP ガスケットガード	ガス配管系部品保護用 SUSガスケット付メタルフィルター	WGPM 0GG *2
EC0004	ウェハーガード GT-プラス/GTL	オールプラスチック製	WGFG 1K P WGFG 01D S*
MC9518	ウェハーガードTライン 6段/12段/40段	300、600、1500 L/min対応、不活性ガス用 PVDFメンブレン	WGGB ** S 0* YY 0 **
EC0304	フロロガードFP カートリッジフィルター	1500 L/min以上の不活性ガス用、PTFEメンブレン	CWEG **0 E1
EC9312	圧縮空気用フィルター	圧縮空気中に含まれる油滴や微粒子を除去
EC9105	ウェハーガードGN ガスフィルターガン	フィルター内蔵型エアーガン	WGGB 01K AG WGFG 01K L5

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