ガスピューリファイヤー製品

資料番号
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製品名(製品概要)コメント製品型番
MDS0414
GateKeeper
ガスピューリファイヤー
再生が可能な不活性ガス及びプロセスガス用インラインガスピューリファイヤー
最高使用流量1-1000 L/min
CE**KF*4R
4507-5106J
Aeronex AGPS-Z2シリーズ
自動ガス精製システム
連続運転が可能なCDA用自動精製システム
最高使用流量5000/10000SLM
MDS0445
Aeronex EGPS-Zシリーズ
自動ガス精製システム
連続運転が可能なCDA用自動精製システム
最高使用流量120/500/1000SLM
MDS0440
Aeronex EGPS-SKシリーズ
自動ガス精製システム
連続運転が可能なNH3用自動精製システム
MDS0619
Aeronex EGPS-Hシリーズ
自動ガス精製システム
連続運転が可能な水素ガス用自動精製システム
EC0407
ルミナスガード不活性ガス中のハイドロカーボン、酸、塩基性不純物を除去  最高使用流量30, 200, 500 L/minLPDN ACR R2
LPDF 10R R4
LPDF 20R R4
LPDF 20S S4
EC0406
チャコレット不活性ガス中のハイドロカーボンを除去
最高使用流量30 L/min
LP2S ACS S2

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Aeronex(エアロネクス)製品



FOUPパージとガス精製の必要性について
化合物半導体プロセスにおけるNH3ガス精製効果(PDF)
シリコンウェーハの保管および搬送中における分子状汚染物質のガスパージ除去(PDF)



技術資料







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