日本インテグリス - 製品情報 - インパクト2フィルター

インパクト２フィルター
フォトレジストなどの最終使用点用ディスポーザブルフィルター

フィルター交換が容易
レバー機構を採用することにより、作業性が大幅に向上しました。フィルターの交換が容易でしかも確実に行なえます。
省スペース
300mm装置に対応した60mmピッチデザイン。
優れた液置換特性
よどみの無い流路とホールドアップボリュームの最小化により、優れた液置換特性を実現。省レジストに寄与します。
豊富なラインアップ
0.2μmから0.01μmまでをラインアップし、さまざまなフォトレジストにご使用できます。　また、既存設備のアップグレードにもお奨めします。
優れた濡れ性
使用している自社開発の超高分子量ポリエチレン膜は、従来のようなフォトレジスト溶剤からの置換なしに直接フォトレジストを通液することが可能なため、省レジストに寄与します。

≪アプリケーション≫
● エキシマプロセス用フォトレジストのろ過


レバーを上げて使用済みフィルターを取り出します。	新しいフィルターをガイドに沿って奥まで挿し込みます。	レバーを下げて、リリースタブをロックすれば取付け完了。

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