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インパクトPlusフィルター
Impact STマニホールドおよびインテリジェン等のImpact LHVDフィルター内臓型ディスペンスシステムに対応した、
超高分子量ポリエチレン膜フィルター
 | フィルター交換が容易
Impact STマニホールドおよびインテリジェン等のImpact LHVDフィルター内臓型ディスペンスシステムと組み合わせて使用することにより、フィルターの交換が容易でしかも確実に行なえます。
豊富なラインアップ
0.2μmから0.01μmまでをラインアップし、さまざまなフォトレジストにご使用できます。 また、既存設備のアップグレードにもお奨めします。
優れた濡れ性
使用している自社開発の超高分子量ポリエチレン膜は、従来のようなフォトレジスト溶剤からの置換なしに直接フォトレジストを通液することが可能なため、省レジストに寄与します。
≪アプリケーション≫
● エキシマプロセス用フォトレジストのろ過 |
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