日本インテグリス - 製品情報 - ファインプロセス用フィルター製品

ファインプロセス用フィルター製品

資料番号 (PDF)	製品名（製品概要）	コメント	製品型番
MC0409	パネルガード1-2-3フィルター	液晶パネル用フォトレジスト／溶剤などのPOUろ過（マニホールドタイプ）超高分子量ポリエチレン膜	AFU* 0*P M1
011003N	パネルガード1-2-3PDP フィルター	顔料分散レジストなどのPOUろ過（マニホールドタイプ）、サーフェースタイプ	APD* S M1 APD* L M1
MDS0306	プロセスガードNP1-2-3 フィルター	顔料分散レジストなどのPOUろ過（マニホールドタイプ）、プリーツ形状のデプスフィルター	PN** ADS 1 PN* ADL *1
EC0408	オプチマイザーST2 マニホールド	プロセスガードNP1-2-3、パネルガード1-2-3フィルターなどに対応したマニホールド	AMVT *
020927N	プロセスガードインラインフィルター	顔料分散レジストなどのPOUろ過	PD** *00 S3
EC0310	プロセスガードNP ディスポーザブルフィルター	顔料分散レジストなどの少流量ろ過プリーツ形状のデプスフィルター	PN** 0S1 S3
EC9818	パネルガードPDP ディスポーザブルフィルター	顔料分散レジスト、酸、アルカリ、純水などの少流量ろ過、サーフェースタイプ	PG** 0S1 S3
MC8708	フローレクス-S ディスポーザブルフィルター	各種溶剤、フォトレジスト、酸・アルカリ・純水、ガスのろ過	CWF* *S1 S3
EC0309	プロセスガードNP カートリッジフィルター	FPDの洗浄・剥離プリーツ形状のデプスフィルター	PN** 00 1 PN** F0 1
MC9817	パネルガードPDP-40 カートリッジフィルター	顔料分散レジスト、酸、アルカリ、純水などの中流量ろ過、サーフェースタイプ	PG 0M0 T1 PG 0M0 E1
EC9816	パネルガードPDP カートリッジフィルター	顔料分散レジスト、酸、アルカリ、純水などの高流量ろ過、サーフェースタイプ	PG 010 T1 PG 010 E1
MC0208	プロセスガードCN カートリッジフィルター	純水・各種薬品・バルクガスのろ過サーフェースタイプ	CN 0 1 CN* 0S4 02
EC0207	プロセスガードCR カートリッジフィルター	洗浄水・各種薬品・溶剤・圧縮空気のろ過デプスタイプ	CR** 00 6 CR** F0 06 CR* 7*0 06
EC0003	フロロガードFP/FP-HP カートリッジフィルター	一般工業薬品からＥＬ薬品の精密ろ過中・高流量用	CWE* *0 1 CW0* 010 *1
EC9806	フロロガードTPX/TPX-HP カートリッジフィルター	酸・アルカリ・有機溶剤などの薬品ろ過高流量タイプ	CWF* 01P 01 CWP* 01P 01
MC0403	パネルガード226 カートリッジフィルターケムガード226PPハウジング	100～200L/min対応カートリッジフィルター／ハウジング	PG** 61P 01 YY37 10* *UM

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