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マイクロガードPlus カートリッジフィルター
フォトレジスト、現像液、溶剤などの超精密ろ過用
| 高除粒子性能
独自の新製法により完成した超高分子量ポリエチレンメンブレンは、優れた除粒子性能を有します。
優れた濡れ性
フォトレジスト溶剤に対して濡れ性が優れています。
高流量
従来品に比べ流量が約1.5 〜2倍アップ。除粒子精度のグレードアップも可能です。
特殊洗浄品
フィルターの二次側が一段とクリーンになり、初期の立ち上げ時間を短縮できます。
低吸着性
一般的なフォトレジスト用界面活性剤の低吸着性が確認されています。
≪アプリケーション≫
● 溶剤（IPAなど）の供給・循環ライン
● フォトレジスト、シンナー、現像液の製造、供給ライン |
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