オプチマイザーST DI/DI-L ディスポーザブルフィルター
超純水中の粒子除去および極微量金属イオンを低減する最終使用点用フィルター

高除粒子性能
超高分子量ポリエチレンメンブレンにより高い除粒子性能を発揮します。
極微量金属イオンの低減
使用している機能性メンブレンは、超純水中に残留している極微量金属イオンを効果的に低減します。
親水化処理不要
通水前のアルコール等による前処理は不要です。
交換が容易なマニホールドタイプ
オプチマイザーST2マニホールドと組み合わせて使用することにより、フィルター交換作業の時間短縮、安全性の向上に寄与します。

≪アプリケーション≫
● 純水スクラバー洗浄
● コーターデベロッパーの純水洗浄
● CMP後の純水洗浄 等

1. タブをおろしながらレバーを上げ、古いフィルターを引き抜きます。2. 新しいフィルターを奥まで確実に差し込みます。3. タブが“カチッ”と音がして、フィルターが固定されるまでレバーをおろします。4. セット完了

 





オプチマイザーST DI/DI-Lディスポーザブルフィルター データシート(PDF)
オプチマイザーST2マニホールド カタログ(PDF)



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