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フロロラインP-1000/1500/3000ディスポーザブルフィルター
高純度薬品（酸・アルカリ・有機溶剤）最終使用点用超精密フィルター
 | 優れた耐薬品性、耐熱性
オールフッ素樹脂製ですから、ほとんどの薬品にご使用いただけます。
コンパクト設計
コンパクトな独自のデザインにより、使用点への取り付けが容易です。
清浄性の向上
汚染源を極力無くした継手一体型設計でフィルター二次側の清浄度が保てます。また、継手部からのリークもありません。
≪アプリケーション≫
● 枚葉式洗浄機の薬液ろ過
● フォトリソグラフィーで使用する各種溶剤ろ過
● オゾン純水 など |
PTFE メンブレンを使用した、比較的少量の薬液ろ過用ディスポーザブルフィルターです。
微細なパターンを形成する半導体デバイスや電子部品、高純度を要求される薬液の最終使用点に取り付けることで、プロセス中で発生した粒子を効果的に除去することが可能です。
また、配管ラインへの取り付けが簡単になり、より安全に高いろ過性能が期待できます。
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