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プレナガード フィルター
平坦化（プラナリゼーション）プロセスにおけるCMP/CMPスラリーろ過用フィルター
  | 多層構造
フィルター一次側から二次側にかけて孔が微細になる多層構造です。
ウェーハにダメージを与える比較的大きな粒子を効果的に捕捉します。
CMPの特性維持
スラリーの平均粒子径や濃度を変えずにCMPプロセスに関わる性能を維持、向上できます。
優れた粒子保持能力
粒子をフィルター内部で捕捉しますので、目詰まりしにくく粒子の保持能力に優れます。
多彩な孔径ラインアップ
ご使用のCMPスラリーの粒径、目的に合わせてフィルターをお選びいただけます。
≪アプリケーション≫
● CMP/CMPスラリーのろ過 |
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