独自の膜構造
フォトレジスト剥離および残渣物除去工程で発生するフィルム、ゲル、微粒子などのさまざまな形態の汚染物に合わせて膜の種類、組み合わせ、レイアウトを最適化することにより、ロングライフと高除粒子性能の両立を実現します。
汚染物の形態に合わせた3タイプ
フロロガードPRS：ノンアッシング、フォトレジスト剥離用プレフィルター
フロロガードRSM：プレフィルターとメンブレンフィルターを組み合わせたノンアッシング、フォトレジスト剥離用フィルター
フロロガードRST：アッシング後のフォトレジスト剥離および残渣物除去用メンブレンフィルター
＜お奨めアプりケーション＞
■ フォトレジスト有機剥離の供給・循環ろ過
■ 残渣物除去の供給・循環ろ過 |