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ソラリス ディスポーザブルフィルター
ロングライフを実現したCMPスラリーのPOU用ろ過フィルター
 | ≪特長≫
■ 従来品の約3倍（当社比）のロングフィルターライフ
-> ダウンタイムの低減
■ 従来品の2本分（CMP3+CMP5）の粒子除去性能
-> 省スペース
■ CMPの特性を維持
≪仕様≫
材質： ポリプロピレン
接続： 3/8インチタイプ フレアフィッティング（入口・出口）
最高使用圧力： 0.34MPa（25℃） |
ソラリスは、ロングライフと使い易さが特長のCMP用フィルターです。
CMPスラリーのろ過において、ウェハー欠陥の原因となりうる粒子の除去性能を最大限に発揮するとともに、フィルターの交換サイクルを長くするように設計されています。
独自の構造により、酸化膜スラリーだけでなくメタル膜スラリーのPOUろ過にもご使用できます。 またフィルター交換時におけるスラリーのこぼれを最小限に抑えた、交換が容易なディスポーザブルフィルターです。
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