| Extraction（エクストラクション）のVaporSorb CSP-32は、露光装置の光学系を分子状汚染物質から保護するために設計されたケミカルフィルターです。CSP-32はイオン交換メディアと活性炭を組み合わせた独自のフィルターメディアにより、大気中の塩基性不純物、酸性不純物、揮発性有機化合物を高い効率で除去します。
VaporSorb CSP-32は専用に開発されたフィルターキャビネットに収納され、露光装置内にクリーンなエアを供給します。フィルターの低圧損特性を活かした直列配置により、環境トラブル等による急激な汚染増加からも装置を保護します。また、気流の均一化によりフィルターの能力を最大限に発揮させ、ロングライフを実現します。
CSP-32は1つのユニットに異なる精製メディアを付加したハイブリッドタイプですので、フィルター間のサンプリング・ポートからサンプル・エアを採取することにより、正確な寿命を予測することができます。 |