日本インテグリス - 製品情報 - ウェハーガード GT-プラス/GTL

ウェハーガード GT-プラス／GTL ガスフィルター
ガスの少量ろ過用インラインフィルター

(GT-プラス)

半導体製造装置などに使用される搬送用、パージ用の窒素や空気のろ過等に適しています。
コンパクトなインライン型設計。金属を嫌うラインのガスろ過や、少量ろ過にご使用下さい。

≪アプリケーション≫
● 搬送用・パージ用N2、エアー
● 薬液の加圧圧送ラインのガス　など