日本インテグリス - 製品情報 - ウェハーガードTライン6段/12段/40段

ウェハーガード Tライン 6段/12段/40段
N2、Ar等の不活性ガス用の中・大流量用ガスフィルター

N2、Ar等の不活性ガス用の中・大流量用ガスフィルターです。ハウジングにフィルターを装着してお使いいただくタイプですから、フィルターの交換はカートリッジのみとなります。流量により3種類からお選び下さい。

≪アプリケーション≫
● 装置の駆動用エアー