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ウェハーガードUSF インラインガスフィルター
オール316L ステンレススチール製ガスフィルター
 | 幅広い条件で使用可能
オールメタルで構成されているため、流量変化や脈動のかかるライン、さらに高差圧下でもご使用いただけます。また、高温ベーキングが可能です。
優れた清浄度
全数、特殊洗浄とホットN2 パージ＋ 真空ベーキングを実施しており、脈動時の粒子放出がほとんど無く、放出ガス特性に優れたクリーンな製品を提供します。
特殊不動態化処理済み
フィルターメディアとハウジングに特殊不動態化処理を施しているため、他社ステンレススチールフィルターと比較し耐腐食性が向上しています。
≪アプリケーション≫
● ドライプロセス装置
● シリンダーキャビネット |
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