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ウェハーガードVNF インラインガスフィルター
超高除粒子性能ニッケルメンブレン製ガスフィルター
 | ニッケルメンブレン
独自に開発した新工法により従来の焼結金属フィルターメディアとは異なる真のメタルメンブレンを実現しました。（特許出願済み）
超高除粒子性能
高流量、高差圧下においても、0.003 μm以上の微粒子を99.9999999 ％以上の非常に高い効率で除去します。
優れた耐腐食性
ニッケル製フィルターメディアはステンレススチールより耐腐食性に優れており、腐食性ガスラインにもご使用いただけます。
優れた清浄度
全数、特殊洗浄とホットN2 パージ＋真空ベーキングを実施しており、脈動時の粒子放出がほとんどなく、放出ガス特性に優れたクリーンな製品を提供します。
≪アプリケーション≫
● ドライプロセス装置
● 高純度バルクガスライン
● シリンダーキャビネット低圧側 |
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