ウェハーガード ミニXL インラインガスフィルター
100L/min用PTFEメンブレン製ガスフィルター
0.01μmの粒子を高い除粒子精度でろ過可能なフィルターです。コンパクト設計で配管の入り組んだ所にも容易に設置でき、また減圧・加圧どちらでも使用可能です。
CVD、ドライエッチャー等のプロセス装置内の特殊ガス等にもご使用いただけます。内面平滑度の極めて高い特殊電解研磨仕上げもあります。
≪アプリケーション≫
● ドライプロセス装置
● プロセスガスライン など
ウェハーガードミニXLインラインガスフィルター カタログ(PDF)
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