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ウェハーガード MAX インラインガスフィルター
コンパクト& 高流量PTFE メンブレンガスフィルター
 | コンパクト& 高流量
省スペース型ガスパネルにも設置できるコンパクトなデザインと高流量特性を両立しました。
超高除粒子性能
0.003 μm 以上の微粒子を非常に高い効率で除去します。
優れた清浄度
特殊洗浄と真空ベーキング* を実施しており、粒子放出および水分等の放出がほとんどありません。
高品位316L ステンレス鋼ハウジング
腐食性に優れたステンレス鋼に特殊電解研磨処理を内面に施しています。
≪アプリケーション≫
● プロセス装置ガスパネル
● VMB
● シリンダーキャビネット低圧側
● バルクガス供給ライン |
ウェハーガードMAX は、半導体製造装置用からバルクガス供給ラインまで幅広い用途にご使用できる高性能／高清浄なPTFE メンブレンガスフィルターです。
特殊材料ガスおよび不活性ガスに使用可能で、ほとんどすべての半導体プロセスガスに対し優れた適合性を有します。
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