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インテグリスのガスピューリファイヤー製品は、その再生可能な精製剤と常温（非加熱）精製方式により、産業廃棄物の削減、ランニングコストの低減、安全性と信頼性の向上など、ＣＯＯ（コスト・オブ・オーナシップ）の低減に寄与します。
 GateKeeper（ゲートキーパー）ガスピューリファイヤーは、最大流量が60L/minまでのPOU用と300L/min以上のバルク用の各種ラインナップがあり、粒子除去フィルターエレメントを内臓しています。ガス供給源または装置内部でガス中の不純物を除去することにより、MFCやバルブなどの保護、プロセス汚染の防止に寄与します。
 Aeronex（エアロネクス）自動再生型ガス精製システムは、連続運転のために2台の精製ユニットを組み込んでいます。1台の精製ユニットでプロセスガスを精製しながら、もう１台の精製ユニットを再生または待機状態にします。精製ユニットの再生および切り替えはプログラム制御です。精製ユニットの交換や再生のための作業が不要で、長期の連続運転が可能です。
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