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エッチガードHP/HPXカートリッジフィルター
HF/BOEの循環ろ過用フィルター
 | 槽内気泡発生の抑制
循環槽内の気泡発生を抑制し、ウェハーの洗浄効果が向上します。
槽内粒子の早い立ち下がり
新開発のメンブレンにより槽の循環効率が向上し、槽内粒子の立ち下がりが早くなります。これによりスループットの向上が期待できます。
高流量
従来品に比べろ過面積が広く、高流量を実現。（当社比）
優れた濡れ性
アルコール等による親水化処理なしでHF/BOEにご使用いただけます。
新製法によるメンブレン
使用している親水性超高分子量ポリエチレンメンブレンは、弊社独自の新製法により完成しました。
≪アプリケーション≫
● HF/BOEの循環ろ過用 |
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