ルミナスガード/チャコレット ガスピューリファイヤー

ルミナスガードおよびチャコレットは不活性ガス中の微粒子およびハイドロカーボンを除去するガスピューリファイヤーです。露光装置のレンズパージラインに使用することによりレンズの曇りが低減できます。

不活性ガス中の微粒子と有機物を高い効率で除去
揮発性有機化合物を非常に高い効率で除去する活性炭と粒子除去性能が高いガスフィルターを内蔵しています。

酸・塩基系不純物も除去(ルミナスガードのみ)
揮発性有機化合物だけでなく、酸・塩基系不純物も高い効率で除去する特殊活性炭を採用。

優れた初期清浄度
構成材質は活性炭、ステンレスハウジング、メタルフィルターのみで、揮発性有機物の発生原因となるバインダー等を一切使用しておりません。また独自の清浄化技術により初期有機物放出量を極限まで低減させました。



(写真はチャコレット)

 





ルミナスガードガスピューリファイヤー 製品カタログ(PDF)
チャコレットガスピューリファイヤー 製品カタログ(PDF)



FOUPパージとガス精製の必要性について



ガスピューリファイヤー製品カタログ







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