パネルガード カートリッジフィルター
超純水中の粒子除去用高流量フィルター

高流量
独自のカートリッジ製法により低圧損で高流量が得られます。
高除粒子性能
超高分子量ポリエチレンメンブレンにより高い除粒子性能を発揮します。
高い耐薬品性
オールポリエチレン製のため高い耐薬品性を有します。
親水化処理不要
通水前のアルコール等による処理は不要です。

≪アプリケーション≫
● ガラス基板純水洗浄
● 電子部品洗浄

 





パネルガード カートリッジフィルター カタログ(PDF)



純水用フィルター製品カタログ








   ホーム    |    規定/商標    |    サイトマップ    |    Visit www.entegris.com
 © 1994-2006 Entegris, Inc. All rights reserved.