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ポンプガードタイプU
Wet 洗浄装置のポンプ保護用フィルター
 | 安全性の向上
ウェハーの破損で発生するSi 破片を捕捉し、ベローズポンプへのダメージを防ぎ、フィルターも保護できます。
コンパクト設計
コンパクトで既存の装置内にも組み込み易い設計です。
優れた耐薬品性、耐熱性
構成素材はすべてPFA。ほとんどの薬液に使用が可能です。耐熱強度は150℃、色々な洗浄プロセスでご使用頂けます。
液滞留が最少
配管接続をインライン化し、形を球状にする事で液滞留を極力少なくするよう設計されています。
≪アプリケーション≫
● 循環洗浄系内のポンプ保護用
● 循環洗浄系内のフィルター保護用 |
半導体の高集積化に伴い、クリーン度に対してより信頼性の高い技術が要求されています。
近年では搬送方式もカセットレス化が行われ、より頻繁なチャッキングによるウェーハの破損が考えられます。
ポンプガードタイプUは循環ろ過系内でウェーハの破片など大きな異物から、ポンプ、フィルターを保護します。
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