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サーモガードNE ディスポーザブルフィルター
窒化膜エッチング工程の高温アプリケーション用、No Prewet/Non-dewettingオールテフロン製フィルター
 | 親水化処理不要
従来、半導体グレード高純度薬品（酸・アルカリ）のろ過前に必要とされていたアルコールなどによる親水化処理が不要。完全に親水化されていますので、ラインに装着するだけでフィルターの性能を100 % 発揮することが可能です。
Dewetting（膜の乾き）の問題解決
自社開発のPTFE メンブレン（特許申請中）は、RCA洗浄等で発生し易いフィルターのDewetting による流量低下がありません。
経験的なフィルターの交換技術不要
親水化処理→ 装着の過程でのDewetting による流量低下を起こす心配がありません。経験的な交換技術なしで、フィルターの流量をバラツキなく確保できます。
超純水封入で出荷
超純水から置換を行うため、ラインへの装着後のフラッシングが容易（フラッシング時間が従来の約60%減）。しかもオートクレーブ滅菌処理（特許取得済）によりパッケージを開封しなければ、長期保存が可能です。
＜お薦めアプリケーション＞
■ 窒化膜エッチング工程における熱燐酸の循環ろ過 |
窒化膜エッチング工程における熱燐酸の循環ろ過などの高温アプリケーション用に設計されたディスポーザブルフィルターです。
クイックチェンジフルターで実績のある、Pre-wet/Non-dewetting PTFE フィルターに、高温と高粘性用途のために必要な、構造的な安定性を強化しました。
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