日本インテグリス - 製品情報

日本インテグリスの製品カタログ

研究・開発向けフィルター製品		純水・超純水用フィルター製品


ウェーハ洗浄・剥離用フィルター製品		CMP/CMPスラリー用フィルター製品


フォトケミカル用フィルター製品		ディスペンスシステム製品


ファインプロセス用フィルター製品 (フラットパネルディスプレイ、記憶ディスク、ファインケミカル)		カートリッジフィルター用ハウジング製品

ガスピューリファイヤー製品		ケミカルフィルター製品	ガスフィルター製品

フルイドハンドリング製品

ウェーハ／レチクル容器		ディスク容器	チップトレー

マスフローコントローラ製品	圧力・重量監視製品	真空圧計測・制御製品
マスフローコントローラ製品、圧力・重量監視製品、真空圧計測・制御製品は、 2006年2月5日付けでCelerity社に売却譲渡されました。日本国内の窓口については、各製品のリンクをクリックして下さい。

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